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中国科学技术大学 2018 年硕士研究生招生考试复习大纲 科目名称 真空技术 编号 902 一、考试范围及要点 第一部分 真空技术的物理基础 气体基本定律和状态方程，气体分子运动论，气体分子的平均速率、方均根速率和最可几 速率；压强的微观表示式，道尔顿分压定律，平均自由程和自由程分布律，碰撞率、自由分 子热传导，气体非平衡态下状态参数间的关系，流量和流导的概念，管道及孔眼的分子流流 导，串联和并联管道的流导；理想气体、真实气体、永久气体和蒸汽的概念，麦克斯韦速率 分布函数的意义，余弦定律，克努曾数，气体扩散现象，管道的粘滞流流导。 第二部分 真空获得 掌握常用各种高真空泵如油扩散泵、 涡轮分子泵、 溅射离子泵、 低温冷凝泵的原理和特性， 一般罗茨泵、机械泵的工作原理和特性，以及性能改进提升的方法；常用真空泵的选用。 第三部分 真空测量与检漏 掌握真空计的分类工作原理和特性，质谱计的参数、四极质谱计的原理和特性；掌握漏孔 的定义，检漏的目的，氦质谱检漏法的原理。 第四部分 真空系统 掌握真空系统的抽气方程；主泵的选择，前级泵配泵的计算，真空系统极限压强的估算。 理解油扩散泵真空系统、涡轮分子泵真空系统、溅射离子泵真空系统的结构和特点以及各系 统排气管道尺寸的确定，真空差分系统的计算；一般、高、超高真空系统的分类和特性。 二、考试形式与试卷结构 1. 简答题：主要考学生真空技术基本概念的掌握，占三分之一的考试内容，分值 50 分。 2. 详述题：主要考学生对真空获得、测量和检漏设备等理论基础的掌握程度，占三分之一 的考试内容，分值 50 分。 3. 计算和应用：了解学生对真空技术知识的理解综合运用程度，分值 50 分。 参考书目名称 作者 出版社 版次 年份 真空技术（第二版） 王欲知 北京航空航天大学出版社 第二版 2007 真空工程技术（1-15章） 徐成海 化学工业出版社 第一版 2006
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