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华中科技大学博士研究生入学考试微纳制造技术考试大纲科目代码：3558第一部分 考试说明一、考试性质及对象本考试是为电子封装技术专业招收博士生而设置，其评价标准是高等学校硕士毕业生能达到的及格或及格以上水平，考试对象为参加博士研究生入学考试的具有硕士学位的学生或具有同等学力的在职人员。二、考试学科范围应考范围：微电子制造科学原理与工程技术，集成电路制造所涉及的基本单项工艺以及工艺集成与集成电路制造等。三、评价目标考查考生了解和掌握微纳制造的物理与化学原理、制造工艺与集成等，运用专业知识解决实际问题的思考与分析能力。四、考试形式与试卷结构1 答卷方式：闭卷，笔试；2 答题时间：180 分钟；3 题 型：第二部分 考查要点1了解微纳制造的概况与应用；2掌握集成电路制造所涉及的基本单项工艺，包括光刻、扩散、刻蚀、氧化、离子注入、光刻、蒸发、溅射、化学气相淀积、外延生长，以及它们的物理和化学原理；3掌握半导体衬底、快速热处理、真空科学与等离子体、分子束外延；4掌握集成电路工艺技术与工艺集成。第三部分 样题（略）
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